Способ расширения зоны генерации ионов твердого тела в магнетронном разряде с горячей мишенью

Наименование РИД	Способ расширения зоны генерации ионов твердого тела в магнетронном разряде с горячей мишенью
Реферат	Изобретение относится к области вакуумной и плазменной техники и может быть применено для осуществления металлизации подложек, имплантации ионов металлов и полупроводников, для ионного ассистирования при осаждении изолирующих и полупроводниковых функциональных покрытий. Способ подразумевает формирование плазмы импульсного магнетронного разряда высокой мощности на предварительно разогретой мишени в условиях непрерывно перемещающегося (вращающегося) магнитного поля. Вращение магнитного поля создается путем вращения магнитной системы магнетрона, установленной эксцентрично относительно оси симметрии мишени. Импульсный разряд с параметрами — напряжение до 2 кВ, плотность тока 2–10 А/см2, длительность 1–10 мс, частота повторения до 1 кГц — создается на мишени, предварительно разогретой с помощью разряда постоянного тока или среднечастотного разряда с плотностью мощности выше 100 Вт/см2. Частота вращения магнитного поля составляет 1–500 об./мин. Локальный нагрев поверхности мишени в процессе импульса приводит к формированию плотной плазмы с содержанием в плазме ионов твердого тела более 90%, которая перемещается по всей поверхности вслед за движением магнитного поля. За время паузы между импульсами происходит локальное охлаждение поверхности, препятствующее высвобождению нейтрального компонента испаренного или сублимированного материала, а также подавляющее плазменные неустойчивости. Технический результат — многократное увеличение размера зоны с содержанием в плазме ионов твердого тела более 90%, формирующей однородный ионный поток на площади выше 104 см2, и увеличение эффективности генерации ионов твердого тела.
Возможные направления использования	Способ расширения зоны генерации ионов твердого тела в магнетронном разряде с горячей мишенью относится к вакуумной и плазменной технике и может быть применен для осуществления металлизации подложек, имплантации ионов металлов и полупроводников, для ионного ассистирования при осаждении изолирующих и полупроводниковых функциональных покрытий.
Количество опытных образцов	0
Количество просмотров	4
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2026-01-27T11:41:50.596990+00:00
Предполагаемый тип результата	Изобретение
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
Руководитель работы	Тумаркин Александр Владимирович
Руководитель организации	Тумаркин Александр Владимирович
Регистрационный номер НИОКТР	125013001101-9
Последний статус	Подтверждена, 626012800045-6, 2026-01-28 07:24:31 UTC
ОКПД	Оборудование электрическое прочее, не включенное в другие группировки
Ключевые слова	Магнетрон; Испарение; Ионный поток; Магнитное поле; Степень ионизации
Исполнители	ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ПИНЧ"
Авторы	Тумаркин Александр Владимирович; Ломоносов Глеб Сергеевич; Харьков Максим Михайлович; Колодко Добрыня Вячеславич; Казиев Андрей Викторович
Коды тематических рубрик	29.27.43 - Газовый разряд; 29.27.51 - Применение плазмы
OESR	Физика жидкости, газа и плазмы (включая физику поверхностей)
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;