| Наименование РИД |
Способ плазмохимического травления кремниевых структур
|
| Реферат |
Изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем, устройств микромеханики - микроэлектромеханических систем (МЭМС) и микрофлюидики на основе кремния.
Суть изобретения – способ анизотропного плазменного травления c разделением на три этапа: травление кремния в элегазе с добавлением 5-7% кислорода, осаждение пассивирующей пленки, распыление ионной бомбардировкой пассивирующей пленки со дна структуры аргоном и элегазом при температуре подложкодержателя с пластиной 15-20 оС. Данный способ предназначен для формирования кремниевых структур со сверхмалым аспектным отношением с минимальной шероховатостью поверхностей и анизотропией профиля, отличающийся высокой равномерностью скоростей травления по площади пластины, низкой рабочей температурой, воспроизводимостью и стабильностью плазмы.
Задача изобретения - улучшение воспроизводимости процесса плазмохимического травления кремния и качества профиля травления кремния с точки зрения анизотропии и шероховатости, а также применимость к структурам с малым аспектным отношением.
|
| Возможные направления использования |
Технология производства интегральных схем.
|
| Количество опытных образцов |
3
|
| Количество просмотров |
5
|
| Наличие дополнительных файлов |
False
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[{"last_status": {"created_date": "2025-12-23T20:35:37.053661+00:00", "registration_number": "825122300147-7", "status": {"name": "Подтверждена"}}, "copyright_protections": [{"protection_way": {"name": "Осуществлена государственная регистрация"}}]}]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2025-11-06T12:37:35.281761+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Изобретение
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
Российский научный фонд
|
| Руководитель работы |
Голишников Александр Анатольевич
|
| Руководитель организации |
Дронов Алексей Алексеевич
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
123022100103-7
|
| Последний статус |
Подтверждена, 625121000132-1, 2025-12-10 09:04:02 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий
|
| Ключевые слова |
МЭМС; профиль травления; шероховатость поверхности; аспектное отношение; анизотропное плазменное травление кремния
|
| Исполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
|
| Авторы |
Дюжев Николай Алексеевич; Лосев Владимир Вячеславович; Крупкина Татьяна Юрьевна; Голишников Александр Анатольевич; Чаплыгин Юрий Александрович; Путря Михаил Георгиевич; Парамонов Владислав Витальевич; Сомов Никита Михайлович
|
| Коды тематических рубрик |
47.13.07 - Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
|
| OESR |
Нано-процессы [применение на наноуровне]; (биоматериалы относятся к разделу 2.9)
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
