| Наименование РИД |
Электростатический МЭМС-коммутатор
|
| Реферат |
Электростатический МЭМС-коммутатор, содержащий полупроводниковую подложку с нанесенным на нее диэлектриком, средство переключения, в виде подвижного электрода, которым является МЭМС-консоль, один конец которой зафиксирован на диэлектрике, а свободный конец, расположенный над опорой, сформированной из диэлектрика, перекрывает канал рентгеновского излучения, выполненный в виде сквозного отверстия в полупроводниковой подложке и диэлектрике, причем месторасположение опоры выбрано таким образом, что канал рентгеновского излучения находится с одной стороны от нее, а середина МЭМС-консоли, которая соответствует точке центра масс МЭМС-консоли при равномерном ее сечении по всей длине, - с другой стороны, отличающийся тем, что полупроводниковая подложка под опорой разделена траншеей глубокой щелевой изоляции, заполненной диэлектриком, на две части, причем на той части полупроводниковой подложки, на которой расположен канал рентгеновского излучения, за ним расположен неподвижный электрод, один конец которого закреплен на диэлектрике, а свободный конец расположен соосно и с зазором по отношению к свободному концу МЭМС-консоли. Техническим результатом является повышение быстродействия электростатического МЭМС-коммутатора.
|
| Возможные направления использования |
Изобретение относится к элементам установок рентгеновской литографии, в частности, выполняет функцию программно-управляемого коммутатора рентгеновского излучения как составного элемента транспарентной маски в установках безмасочной рентгеновской литографии.
|
| Количество опытных образцов |
0
|
| Количество просмотров |
9
|
| Наличие дополнительных файлов |
False
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[{"last_status": {"created_date": "2025-12-23T20:35:46.427752+00:00", "registration_number": "825122300148-4", "status": {"name": "Подтверждена"}}, "copyright_protections": [{"protection_way": {"name": "Осуществлена государственная регистрация"}}]}]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2025-11-18T11:10:57.755982+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Изобретение
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
Российский научный фонд
|
| Руководитель работы |
Дюжев Николай Алексеевич
|
| Руководитель организации |
Дронов Алексей Алексеевич
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
124072500055-9
|
| Последний статус |
Подтверждена, 625121100034-7, 2025-12-11 06:26:16 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий
|
| Ключевые слова |
установка безмасочной рентгеновской литографии; транспарентная маска; электростатический МЭМС коммутатор
|
| Исполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
|
| Авторы |
Дюжев Николай Алексеевич; Глаголев Петр Юрьевич; Филиппов Николай Александрович; Беспалов Владимир Александрович
|
| Коды тематических рубрик |
47.13.07 - Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
|
| OESR |
Нано-процессы [применение на наноуровне]; (биоматериалы относятся к разделу 2.9)
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
