Ячейка формирования изображения для безмасочной рентгеновской литографии

Наименование РИД	Ячейка формирования изображения для безмасочной рентгеновской литографии
Реферат	Ячейка формирования изображения для безмасочной рентгеновской литографии, содержащая рентгеновскую микролинзу и пространственный модулятор рентгеновского излучения. Причем в качестве пространственного модулятора рентгеновского излучения используется электростатический МЭМС коммутатор, выполненный из оптически непрозрачного материала со сквозным прямоугольным отверстием, конструкционно представляющий собой транспарентную динамическую маску. Кроме того, в качестве рентгеновской микролинзы используется составная рентгеновская микролинза, отдельные части которой соосно расположены друг за другом, материалом которых является алмаз, каждая из которых имеет киноформный профиль поверхности. Техническим результатом, на получение которого направлена полезная модель, является увеличение производительности литографа, в состав которого входит ячейка формирования изображения для безмасочной рентгеновской литографии, и уменьшение потерь энергии излучения в ячейке формирования изображения без потери разрешающей способности.
Возможные направления использования	Полезная модель относится к области оптики и микросистемной техники, в частности к элементам установок безмасочной рентгеновской литографии, используемых в процессе изготовления изделий микроэлектроники, а именно в качестве отдельного узла формирования топологического рисунка в установках безмасочной рентгеновской литографии.
Количество опытных образцов	0
Количество просмотров	8
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[{"last_status": {"created_date": "2025-12-23T20:36:27.950431+00:00", "registration_number": "825122300151-4", "status": {"name": "Подтверждена"}}, "copyright_protections": [{"protection_way": {"name": "Осуществлена государственная регистрация"}}]}]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2025-11-17T13:54:23.911919+00:00
Предполагаемый тип результата	Полезная модель
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Руководитель работы	Беспалов Владимир Александрович
Руководитель организации	Дронов Алексей Алексеевич
Регистрационный номер НИОКТР	121111100094-1
Последний статус	Подтверждена, 625121100041-5, 2025-12-11 06:33:52 UTC
ОКПД	Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий
Ключевые слова	установка безмасочной рентгеновской литографии; транспарентная маска; составная рентгеновская микролинза
Исполнители	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
Авторы	Корнеев Виктор Иванович; Дюжев Николай Алексеевич; Глаголев Петр Юрьевич; Беспалов Владимир Александрович
Коды тематических рубрик	47.13.07 - Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
OESR	Нано-процессы [применение на наноуровне]; (биоматериалы относятся к разделу 2.9)
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;