| Наименование РИД |
Способ глубокого анизотропного плазменного травления кремниевых структур
|
| Реферат |
Изобретение относится к технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе кремния. Способ глубокого анизотропного плазменного травления кремния представляет собой циклический трехэтапный процесс. На первом этапе цикла происходит изотропное травление кремния в газовой смеси элегаза и кислорода. Второй этап характеризуется полимеризацией поверхности структуры в среде октафторциклобутана для предотвращения латерального травления. На третьем этапе полимерный слой на дне структуры удаляется направленным распылением ионами аргона, после чего цикл повторяется. При непрерывном травлении глубоких структур с большой площадью вскрытия происходит избыточное выделение тепла, результатом чего служит перегрев обрабатываемой кремниевой пластины. С целью предотвращения появления негативных эффектов вследствие перегрева обрабатываемой структуры используется интервальный способ обработки, при котором через некоторое количество циклов пластина извлекается из реактора и остужается. Преимуществом данного способа является значительное улучшение таких параметров, как анизотропия, равномерность и качество травления кремниевых структур.
|
| Возможные направления использования |
Технология производства интегральных схем.
|
| Количество опытных образцов |
3
|
| Количество просмотров |
4
|
| Наличие дополнительных файлов |
False
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[{"last_status": {"created_date": "2025-12-23T20:38:02.477236+00:00", "registration_number": "825122300157-6", "status": {"name": "Подтверждена"}}, "copyright_protections": [{"protection_way": {"name": "Осуществлена государственная регистрация"}}]}]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2025-11-06T11:16:36.028018+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Изобретение
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
Российский научный фонд
|
| Руководитель работы |
Голишников Александр Анатольевич
|
| Руководитель организации |
Дронов Алексей Алексеевич
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
123022100103-7
|
| Последний статус |
Подтверждена, 625121100042-2, 2025-12-11 06:34:05 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий
|
| Ключевые слова |
равномерность; МЭМС; анизотропия; глубокое анизотропное плазменное травление кремния
|
| Исполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
|
| Авторы |
Дюжев Николай Алексеевич; Потапенко Илья Викторович; Осипова Татьяна Викторовна; Лосев Владимир Вячеславович; Крупкина Татьяна Юрьевна; Голишников Александр Анатольевич; Чаплыгин Юрий Александрович; Путря Михаил Георгиевич; Парамонов Владислав Витальевич; Сомов Никита Михайлович
|
| Коды тематических рубрик |
47.13.07 - Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
|
| OESR |
Нано-процессы [применение на наноуровне]; (биоматериалы относятся к разделу 2.9)
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
