| Наименование РИД |
«Методика синтеза монокристаллов с улучшенными характеристиками при равномерном распределении температуры подложек с устройством крепления подложек в вакуумной камере CVD-реактора»
|
| Реферат |
Методика разработана по результатам испытаний изготовленного по рабочей конструкторской документации ЦДРМ.434819.002 устройства крепления подложки в вакуумной камере CVD-реактора, которое обеспечивает равномерное распределение температуры как в НРНТ алмазной подложке, так и в синтезируемом алмазном монокристалле на протяжении всего процесса синтеза. Методика предназначена для реализации в CVD-ректорах АРДИС-300. Синтез CVD-алмазных монокристаллов по данной методике состоит из пяти технологических этапов:
1) отбор и подготовка НРНТ алмазных подложек для синтеза,
2) изготовление поликристаллической алмазной,
3) изготовление поликристаллической алмазной рамки,
4) сращивание НРНТ алмазной подложки с поликристаллической алмазной рамкой,
5) синтез и изготовление CVD-алмазного монокристалла.
Каждый технологический этап состоит из нескольких технологических операций. Последовательность технологических операций проиллюстрирована технологической схемой с указанием основных технологических параметров каждой операции.
Использование методики позволит добиться длительного непрерывного синтеза монокристаллического алмазного материала с улучшенными характеристиками толщиной свыше 500 мкм.
|
| Возможные направления использования |
-
|
| Количество опытных образцов |
0
|
| Количество просмотров |
4
|
| Наличие дополнительных файлов |
False
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[{"last_status": {"created_date": "2026-01-21T16:24:34.354600+00:00", "registration_number": "826012100323-0", "status": {"name": "Подтверждена"}}, "copyright_protections": [{"protection_way": {"name": "Установлен режим коммерческой тайны"}}]}]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2025-11-18T08:41:35.403209+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Секрет производства (ноу хау)
|
| Ожидаемая роль |
Заказчик и Исполнитель совместно
|
| Заказчик |
ГОСУДАРСТВЕННАЯ КОРПОРАЦИЯ ПО АТОМНОЙ ЭНЕРГИИ "РОСАТОМ"
|
| Руководитель работы |
Красильников Анатолий Витальевич
|
| Руководитель организации |
Красильников Анатолий Витальевич
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
125053006556-8
|
| Последний статус |
Подтверждена, 625122200222-4, 2025-12-22 10:58:49 UTC
|
| ОКПД |
Работы оригинальные научных исследований и экспериментальных разработок в области естественных и технических наук, кроме биотехнологии
|
| Ключевые слова |
СИНТЕЗ АЛМАЗОВ, ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ, НЕЙТРОННЫЙ ДЕТЕКТОР, ТОКАМАК, РЕАКТОРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, СИНТЕЗ МОНОКРИСТАЛОВ, АЛМАЗЫ, CVD-РЕАКТОР, ВАКУУМНАЯ КАМЕРА
|
| Исполнители |
Частное учреждение Государственной корпорации по атомной энергии "Росатом" "Проектный центр ИТЭР"
|
| Авторы |
Хмельницкий Роман Абрамович; Мещанинов Сергей Анатольевич; Кириченко Алексей Николаевич; Ярцев Владимир Петрович; Родионов Николай Борисович; Трапезников Александр Геннадьевич; Родионова Валентина Петровна
|
| Коды тематических рубрик |
29.27.49 - Диагностика плазмы; 59.43.33 - Приборы для измерения спектральных характеристик ионизирующих излучений
|
| OESR |
Ядерная физика
|
| Приоритеты научно-технического развития |
Отсутствует
|
