Нанесение тонких пленок карбида бора магнетронным распылением порошковой мишени

Наименование РИД	Нанесение тонких пленок карбида бора магнетронным распылением порошковой мишени
Реферат	Изобретение относится к способу получения пленки из карбида бора магнетронным распылением порошковой мишени из непрессованного порошка карбида бора. Для магнетронного распыления используют указанную мишень толщиной от 2 до 10 мм, размещенную на водоохлаждаемом металлическом основании магнетрона. Подложки для получения пленки из карбида бора закрепляют на держателе на расстоянии от 5 до 15 см относительно плоскости упомянутой мишени. При закрытой заслонке проводят нагрев подложек тепловым излучением радиационного нагревателя до температуры 20-500 °С и прогрев поверхности мишени магнетронным разрядом до температуры 200-900 °С. Открывают заслонку и осаждают пленку из карбида бора в атмосфере аргона при давлении 4-18 мТорр при средней плотности тока на мишени магнетрона 16 мА/см2 в среднечастотном режиме 50 кГц, при котором амплитуда плотности импульсного тока на поверхности мишени магнетрона составляет 32 мА/см2, а напряжение горения разряда 650-850 В. Температуру подложек при осаждении пленки из карбида бора поддерживают в диапазоне 300-500 °С тепловым излучением радиационного нагревателя. Обеспечивается расширение арсенала средств нанесения тонких пленок карбида бора с использованием порошковой мишени из непрессованного порошка карбида бора.
Возможные направления использования	Пленки карбида бора могут применяться для повышения стойкости материалов к истиранию, в производстве электронных компонентов и солнечных батарей. Обладая способностью поглощать тепловые нейтроны, пленки на основе карбида бора, обогащенного изотопом 10В, наносимые на подложки большой площади, являются перспективным материалом для создания твердотельных источников нейтронов.
Количество опытных образцов	10
Количество просмотров	2
Наличие дополнительных файлов	True
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2025-12-12T15:04:41.367443+00:00
Предполагаемый тип результата	Изобретение
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Руководитель работы	Кравцов Евгений Алексеевич
Руководитель организации	Мушников Николай Варфоломеевич
Регистрационный номер НИОКТР	122021000035-6
Последний статус	Подтверждена, 625122500343-3, 2025-12-25 13:58:47 UTC
ОКПД	Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области физики
Ключевые слова	магнетронное напыление; порошок карбида; Порошковая мишень
Исполнители	Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики металлов имени М.Н. Михеева Уральского отделения Российской академии наук
Авторы	Кравцов Евгений Алексеевич; Плотников Сергей Александрович; Владимиров Александр Борисович
Коды тематических рубрик	55.22.23 - Неметаллические покрытия; 55.22.29 - Комбинированные и другие покрытия, в т.ч. нанопокрытия
OESR	Физика конденсированного состояния (включая физику твердого тела, сверхпроводимость)
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;