| Наименование РИД |
Способ магнетронного напыления с ультразвуковым распылением плазмы
|
| Реферат |
Изобретение относится к области нанесения покрытий методом магнетронного распыления.
Способ магнетронного распыления заключается в использовании магнетронной распылительной системы сбалансированного типа, содержащей расположенные в вакуумной камере анод и катодный узел, включающий мишень и магнитный блок, а также держатель напыляемой подложки. В отличие от прототипа между мишенью и подложкой на расстоянии (0,65–0,80) L от мишени размещают источник ультразвуковых колебаний с частотой 0,35–0,65 МГц, где L – расстояние между мишенью и подложкой.
Технический результат: повышение равномерности толщины покрытия при распылении мишеней и обеспечение колебания плазменного облака по поверхности подложки в процессе распыления мишени.
|
| Возможные направления использования |
Для подготовки специалистов в области материаловедения, а также в технических научно-исследовательских институтах. Разработка конструкции с улучшенной конфигурацией магнитной системы. Это позволит создать более однородное магнитное поле, что обеспечит стабильный разряд и равномерное распределение плазмы вдоль мишени. В результате покрытие будет наноситься более равномерно, снизится количество дефектов, и повысится общая эффективность процесса напыления при использовании мишеней системы Fe–Cu.
|
| Количество опытных образцов |
1
|
| Количество просмотров |
6
|
| Наличие дополнительных файлов |
False
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2025-12-15T11:15:20.310406+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Полезная модель
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
|
| Руководитель работы |
Овчинников Виктор Васильевич
|
| Руководитель организации |
Югай Евгений Эдуардович
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
123020300004-1
|
| Последний статус |
Подтверждена, 625123000022-9, 2025-12-30 03:45:10 UTC
|
| ОКПД |
Услуги (работы), связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области технических наук и в области технологий, прочие, не включенные в другие группировки, кроме биотехнологии
|
| Ключевые слова |
магнетронное напыление
|
| Исполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
|
| Авторы |
Учеваткина Надежда Владимировна; Овчинников Виктор Васильевич; Бабуев Михаил Александрович; Слезко Максим Юрьевич
|
| Коды тематических рубрик |
53.49.15 - Структура и свойства цветных металлов и сплавов и композиционных материалов на их основе
|
| OESR |
Композитные материалы (включая ламинаты, армированные пластмассы, металлокерамику, комбинированные ткани из натуральных и синтетических волокон; наполненные композиты)
|
| Приоритеты научно-технического развития |
Отсутствует
|
