| Наименование РИД |
Узел образца установки импульсно-лазерного осаждения
|
| Реферат |
Промышленный образец относится к мультифункциональной автоматизированной установке импульсно-лазерного осаждения для синтеза тонких пленок и наноструктур методом распыления мишеней в вакууме при помощи излучения импульсного лазера, в частности, к узлу образца установки импульсно-лазерного осаждения.
Из уровня техники известны следующие аналоги промышленного образца.
Лазер технологический (RU 52512 от 24.04.2002), характеризующийся наличием блока генерации луча с передней и задней крышками; наличием верхней, угловых и боковых панелей блока генерации луча; наличием выходного блока; наличием сигнального фонаря включения высокого напряжения; наличием блока электропитания; наличием вентиляционных отверстий в виде пазов; выполнением передней и задней крышек блока генерации призматической формы; выполнением выходного блока трапециевидной формы; расположением вентиляционных отверстий на боковых и на верхней плоскостях угловых панелей блока генерации луча; расположением вентиляционных отверстий на боковых панелях блока электропитания; расположением петель на левой боковой панели блока генерации луча; расположением сигнального фонаря в передней части верхней панели блока генерации луча; наличием дверцы на передней панели блока электропитания; расположением тумблера входного автомата электропитания на передней панели блока электропитания, рядом с дверцей.
Модуль лазерный технологический импульсный (RU 44158 от 23.07.1996), характеризующийся выполнением корпуса в виде параллелепипеда, вытянутого по горизонтали (в длину); формой объема в виде вытянутого в длину прямоугольного параллелепипеда; наличием двух съемных (внутреннего и внешнего) кожухов П-образного сечения; наличием щелевидной формы ручки переноса (на боковых стенках корпуса); симметричным парным расположением на передней панели корпуса электрических высоковольтных разъемов в виде усеченного конуса, смещенных влево; наличием блока подвода и отвода охлаждающей жидкости в виде цилиндрических штуцеров, расположенных на правой боковой плоскости корпуса; наличием разъема для управления заслонкой; наличием штуцера фильтра очистки воздуха; наличием технологической крышки (круглой формы), закрывающей юстировочный механизм заднего зеркала; наличием опорных ножек, выполненных из металла; наличием на внешнем кожухе товарного знака и наименования изделия; цветографическим решением, построенным на сочетании глянцевых поверхностей корпуса, окрашенного эмалями черного цвета с полосами контрастных цветов, с полуглянцевыми поверхностями металлических деталей, серебристого цвета (штуцера блока подвода и отвода охлаждающей жидкости и фильтра очистки воздуха) и пластмассовыми деталями белого цвета (электрические высоковольтные разъемы).
Установка вакуумного осаждения (RU 67229 от 12.07.2007), характеризующаяся наличием корпуса на основе параллелепипеда с корпусными панелями; наличием округлой крышки вакуумной камеры со смотровым окном; наличием панели управления и индикации с монитором; моноблочным решением установки; размещением крышки вакуумной камеры справа в верхней половине корпуса; размещением панели индикации совместно с монитором в верхнем левом углу корпуса; выполнением крышки вакуумной камеры с выступающей частью сложной формы, имеющей два горизонтальных среза и вырез в виде тупого угла в ее левой верхней части; расположением смотрового окна внутри выреза в виде тупого угла.
|
| Возможные направления использования |
Составная часть мультифункциональной автоматизированной установки импульсно-лазерного осаждения, на который устанавливается образец, на который возможно напылять тонкие пленки.
|
| Количество опытных образцов |
1
|
| Количество просмотров |
1
|
| Наличие дополнительных файлов |
True
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2026-01-20T10:42:13.367476+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Промышленный образец
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
|
| Руководитель работы |
Фатьянов Евгений Иванович
|
| Руководитель организации |
Демин Максим Викторович
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
124112100030-3
|
| Последний статус |
Подтверждена, 626020200160-7, 2026-02-02 10:30:56 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий
|
| Ключевые слова |
распыление мишеней; лазерное излучение; синтез пленок; узел образца; вакуумная камера; наноструктуры; тонкие пленки; импульсно-лазерное осаждение
|
| Исполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "БАЛТИЙСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ИММАНУИЛА КАНТА"
|
| Авторы |
Гуров Вячеслав Александрович; Затолокин Денис Павлович; Товстоган Никита Сергеевич; Швец Пётр Валерьевич; Молчанов Виталий Владимирович; Северин Евгений Александрович; Клементьев Евгений Станиславович; Киричук Григорий Владимирович; Грунин Алексей Игоревич; Прокопович Павел Аликович; Фатьянов Евгений Иванович
|
| Коды тематических рубрик |
29.19.22 - Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
|
| OESR |
Нано-материалы [производство и свойства]
|
| Приоритеты научно-технического развития |
Отсутствует
|
