Программа для расчёта зависимости уширения электронного луча при его прохождении через резист

Наименование РИД	Программа для расчёта зависимости уширения электронного луча при его прохождении через резист
Реферат	Программа позволяет рассчитать зависимость уширения электронного луча при его прохождении через резист от толщины резиста Δy = f(h) для формирования малых элементов и их близком расположении друг к другу (эффект близости) методом электронно-лучевой литографии. Программа применяется для производства устройств и элементов монолитных интегральных схем. Программа позволяет отобразить результат расчета в виде графика, на котором представлена зависимость уширения электронного луча при его прохождении через резист от толщины резиста.
Возможные направления использования	Программа применяется для производства устройств и элементов монолитных интегральных схем
Количество опытных образцов	0
Количество просмотров	3
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2025-12-23T02:49:28.225968+00:00
Предполагаемый тип результата	Программа для ЭВМ
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Руководитель работы	Шестериков Евгений Викторович
Руководитель организации	Пташник Игорь Васильевич
Регистрационный номер НИОКТР	122041500075-5
Последний статус	Подтверждена, 626011500016-2, 2026-01-15 05:57:26 UTC
ОКПД	Услуги (работы), связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области технических наук и в области технологий, прочие, не включенные в другие группировки, кроме биотехнологии
Ключевые слова	РАСЧЕТ; ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ; РЕЗИСТ
Исполнители	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ОПТИКИ АТМОСФЕРЫ ИМ. В.Е. ЗУЕВА СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Авторы	Шестериков Евгений Викторович; Казимиров Артем Игоревич; Гуляева Ангелина Алексеевна
Коды тематических рубрик	29.03.25 - Получение и измерение давлений в физическом эксперименте
OESR	Электротехника и электроника
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;