СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОДУКТОВ КОНВЕРСИИ ПРЕКУРСОРОВ И ПРИМЕСЕЙ В ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ РЕАКТОРАХ

Наименование РИД	СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОДУКТОВ КОНВЕРСИИ ПРЕКУРСОРОВ И ПРИМЕСЕЙ В ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ РЕАКТОРАХ
Реферат	Изобретение относится к методам контроля продуктов конверсии прекурсоров и примесей в плазмохимических реакторах и позволяет производить качественный и количественный анализ продуктов конверсии примесей прекурсоров в условиях плазмохимического синтеза наноструктур, тонких пленок, травления. Способ контроля продуктов конверсии прекурсоров и примесей в плазмохимических реакторах заключается в том, что измеряется энергетический спектр электронов, образующихся в результате реакций Пеннинговской ионизации атомов и молекул продуктов конверсии примесного газа метастабильными атомами буферного инертного газа с помощью измерительного зонда, на который подается задерживающий электрический потенциал, изменяющийся по времени. Одновременно с подачей потенциала измеряется вольт-амперная характеристика (ВАХ), производится двойное дифференцирование ВАХ, с помощью которой можно получить энергетический спектр электронов. Калибруя спектр, проводится качественный и количественный анализ продуктов конверсии примесного газа. Техническим результатом является возможность локального определения концентраций продуктов конверсии прекурсоров и примесей в плазмохимических реакторах, а также повышение точности определения абсолютных значений концентраций.
Возможные направления использования	применение газоразрядной плазмы, синтез наноматериалов и наноструктур
Количество опытных образцов	1
Количество просмотров	3
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2025-09-22T22:24:38.570179+00:00
Предполагаемый тип результата	Изобретение
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	Российский научный фонд
Руководитель работы	Сайфутдинов Алмаз Ильгизович
Руководитель организации	Бабушкин Виталий Михайлович
Регистрационный номер НИОКТР	124103100067-7
Последний статус	Подтверждена, 626012200096-4, 2026-01-22 10:00:04 UTC
ОКПД	Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области физики
Ключевые слова	диагностика; прекурсоры; плазмохимический реактор
Исполнители	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "КАЗАНСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. А.Н. ТУПОЛЕВА-КАИ"
Авторы	Гущин Денис Дмитриевич; Сайфутдинов Алмаз Ильгизович; Сысоев Сергей Сергеевич
Коды тематических рубрик	29.27.43 - Газовый разряд; 29.27.51 - Применение плазмы; 29.27.49 - Диагностика плазмы; 29.27.07 - Элементарные процессы в плазме
OESR	Физика жидкости, газа и плазмы (включая физику поверхностей)
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;; б) переход к экологически чистой и ресурсосберегающей энергетике, повышение эффективности добычи и глубокой переработки углеводородного сырья, формирование новых источников энергии, способов ее передачи и хранения;