| Наименование РИД |
Программа для вычисления распределения интенсивности светового поля за одномерной шаблонной структурой, состоящей из чередующихся щелей и частично прозрачных фазосдвигающих полос
|
| Реферат |
Программа предназначена для расчёта распределения интенсивности светового поля за одномерной структурой фотошаблона, состоящей из чередующихся щелей и частично прозрачных фазосдвигающих полос, с использованием методов Фурье-оптики. Программа выполняет функции расчёта коэффициентов пропускания и фазовых сдвигов для элементов структуры на основе заданных пользователем оптических (коэффициенты преломления и экстинкции) и геометрических (ширины полос и щелей) параметров, а также вычисления итоговой дифракционной картины в приближении Френеля с использованием быстрого преобразования Фурье для различных расстояний от структуры до экрана и с учётом угла падения исходной световой волны.
|
| Возможные направления использования |
Микроэлектроника
Нанолитография
Фотоника
Дифракционная оптика
Оптическое приборостроение
Метрология наноструктур
Лазерные технологии
|
| Количество опытных образцов |
0
|
| Количество просмотров |
5
|
| Наличие дополнительных файлов |
False
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2026-01-13T10:56:35.224438+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Программа для ЭВМ
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
|
| Руководитель работы |
Козлов Владимир Алексеевич
|
| Руководитель организации |
Дронов Алексей Алексеевич
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
125102912356-1
|
| Последний статус |
Подтверждена, 626012600120-2, 2026-01-26 11:01:23 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий
|
| Ключевые слова |
тонкие пленки; нанотехнологии; интерференция; литография; фотошаблоны
|
| Исполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
|
| Авторы |
Бутманов Данил Денисович; Громов Дмитрий Геннадьевич; Лавров Игорь Викторович; Горелков Олег Павлович; Аникин Андрей Владимирович
|
| Коды тематических рубрик |
29.31.15 - Излучение и волновая оптика; 47.13.07 - Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники; 29.33.39 - Оптические явления в волноводах и тонких пленках. Интегральные оптические схемы
|
| OESR |
Оптика (включая лазерную оптику и квантовую оптику)
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
