Способ изготовления сенсора ионизирующего излучения и света
| Наименование РИД | Способ изготовления сенсора ионизирующего излучения и света |
|---|---|
| Реферат | Способ изготовления сенсора ионизирующего излучения и света, включающий травление кремния на полупроводниковой пластине, вырезанной из слитка сверхчистого кремния n-типа проводиомсти, химическую отмывку полупроводниковой пластины, формирование слоя окисла кремния термическим окислением в атмосфере сухого кислорода с добавлением хлорсодержащего компонента, имплантацию ионов примеси р-типа в рабочую сторону пластины и ионов примеси n-типа в нерабочую сторону пластины, вторую химическую отмывку, нанесение слоя алюминия, двухстадийный постимплантационный отжиг, отличающийся тем, что обе химические отмывки пластины проводятся в растворе разбавленной плавиковой кислоты, второе окисление производится в две стадии: первая стадия проводится в атмосфере сухого кислорода, включающей хлорсодержащий компонент; вторая стадия проводится в атмосфере азота с добавлением кислорода, включающей хлорсодержащий компонент, после чего проводится диффузия примеси n-типа и последняя имплантация примесей р-типа, далее проводится химическая обработка с финишным освежением в разбавленном растворе плавиковой кислоты в течение не менее 5 секунд, затем производится двухстадийный постимплантационный отжиг: первый отжиг при температуре 800-900С и второй отжиг при температуре 675-775С в инертной атмосфере или в инертной атмосфере с содержанием кислорода |
| Возможные направления использования | Детектирование ионизирующего излучения и света |
| Количество опытных образцов | 20 |
| Количество просмотров | 3 |
| Наличие дополнительных файлов | True |
| Использование РИД правообладателем | False |
| Внешнее использование РИД | False |
| НИОКТР (JSON) | {} |
| ИКСИ (JSON) | [] |
| ИКСПО (JSON) | [] |
| ОЭСР (JSON) | [] |
| Дата первого статуса | 2025-11-17T13:54:47.975012+00:00 |
| Предполагаемый тип результата | Изобретение |
| Ожидаемая роль | Исполнитель |
| Заказчик | МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ |
| Руководитель работы | Ковалев Анатолий Андреевич |
| Руководитель организации | Ковалев Анатолий Андреевич |
| Регистрационный номер НИОКТР | 122091900076-3 |
| Последний статус | Подтверждена, 626012700035-8, 2026-01-27 08:01:10 UTC |
| ОКПД | Диоды |
| Ключевые слова | pin-диод; ионизирующее излучение; Сенсор |
| Исполнители | Акционерное общество "Зеленоградский нанотехнологический центр" |
| Авторы | Рзаев Эмиль Мунасибович; Петушков Василий Леонидович; Григорьева Татьяна Валерьевна; Голубков Сергей Александрович; Веретенников Денис Александрович |
| Коды тематических рубрик | 47.33.29 - Дискретные полупроводниковые приборы |
| OESR | Электротехника и электроника |
| Приоритеты научно-технического развития | Отсутствует |