Анализ монокристаллов кремния с использованием оптической интерферометрии

Наименование РИД	Анализ монокристаллов кремния с использованием оптической интерферометрии
Реферат	Программа выполняет автоматизированный анализ шероховатости поверхности монокристаллов кремния на основе данных оптической интерферометрии. Исходными данными служат текстовые файлы с трёхмерными координатами (X, Y, Z) точек поверхности. Программа вычисляет ключевые статистические параметры шероховатости: среднее арифметическое отклонение (Ra), высоту неровностей по десяти точкам (Rz), разность «пик-впадина» (PV) и другие. Решение предназначено для производственного контроля качества, где требуется регулярная проверка шероховатости, например, при изготовлении высокоточных кристаллов для рентгеновских монохроматоров.
Возможные направления использования	материаловедение, физика
Количество опытных образцов	0
Количество просмотров	3
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2026-01-12T09:29:28.308808+00:00
Предполагаемый тип результата	Программа для ЭВМ
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Руководитель работы	Батаев Иван Анатольевич
Руководитель организации	Батаев Анатолий Андреевич
Регистрационный номер НИОКТР	125092210644-2
Последний статус	Подтверждена, 626012700067-9, 2026-01-27 08:09:37 UTC
ОКПД	Работы оригинальные научных исследований и экспериментальных разработок в области естественных и технических наук, кроме биотехнологии
Ключевые слова	кремний; шероховатость; профилометрия
Исполнители	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
Авторы	Щербинина София Юрьевна; Есикова Екатерина Дмитриевна; Батаев Иван Анатольевич
Коды тематических рубрик	50.41.29 - Программное обеспечение пользовательского интерфейса
OESR	Материаловедение
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;