Составная часть опытно-конструкторской работы "Разработка установки высокотемпературной активации примеси"
| Название НИОКТР | Составная часть опытно-конструкторской работы "Разработка установки высокотемпературной активации примеси" |
|---|---|
| Аннотация | Установка предназначена для высокотемпературной термообработки пластин диаметром до 150 мм: отжига пластин карбида кремния SiC, активации легирующих примесей в пластинах нитрида галлия GaN, отжига зародышевых слоев нитрида алюминия AlN при атмосферном давлении, а также в вакууме с подачей реакционных газов Ar, N2, H2, He, опционально SiH4, C3H8, C2H4 при необходимости обработки поверхности карбида кремния SiC, например, карбонизации. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 765000.0 |
| Дата начала | 2025-02-21 |
| Дата окончания | 2027-11-15 |
| Номер контракта | 17705596339240002040/307-Н/25 |
| Дата контракта | 2025-02-21 |
| Количество отчетов | 1 |
| УДК | 621.382:658.274; 621.382.049.77:658.274 |
| Количество просмотров | 6 |
| Руководитель работы | Ерицян Георгий Спартакович |
| Руководитель организации | Бирюков Михаил Георгиевич |
| Исполнитель | АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ" |
| Заказчик | АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МОЛЕКУЛЯРНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ" |
| Федеральная программа | — |
| Госпрограмма | — |
| Основание НИОКТР | Договор со сторонней организацией |
| Последний статус | 2025-06-05 13:21:05 UTC, 2025-06-05 13:21:05 UTC |
| ОКПД | Физико-термическое оборудование |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | микроэлектроника; высокотемпературная обработка полупроводниковых пластин; оборудование для базовых технологических процессов микроэлектроники; базовые процессы обработки кремниевых пластин 150 мм |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Опытно-конструкторские работы |
| Приоритетные направления | Перспективные виды вооружения, военной и специальной техники |
| Критические технологии | Технологии создания электронной компонентной базы и энергоэффективных световых устройств |
| Рубрикатор | 47.13.11 - Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники |
| OECD | — |
| OESR | Нано-материалы [производство и свойства] |
| Приоритеты научно-технического развития | — |
| Регистрационные номера | — |