Разработка научных основ низкотемпературного синтеза функциональных покрытий на основе оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия и методов плазменной и термической активации
| Название НИОКТР | Разработка научных основ низкотемпературного синтеза функциональных покрытий на основе оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия и методов плазменной и термической активации |
|---|---|
| Аннотация | Проект направлен на разработку нового подхода к синтезу тонкопленочных покрытий на основе оксида алюминия (Al2O3) методом химического осаждения из газовой фазы (CVD). Основное нововведение проекта заключается в использовании изопропилата алюминия (Al(OC3H7)3) в качестве прекурсора и исследовании двух различных методов его активации: термического нагрева подложки и активации высокочастотной (ВЧ) плазмой. Цель проекта — изучение возможностей управления структурой и свойствами покрытия при различных параметрах осаждения, а также оценка потенциальных преимуществ использования нового прекурсора по сравнению с традиционными (AlCl3, TMA). Проект предполагает проведение исследований осаждения покрытий в двух различных атмосферах: чистого изопропилата алюминия и его смеси с кислородом. Предполагается, что добавление кислорода может способствовать более полному разложению прекурсора и улучшению характеристик покрытия.Особое внимание будет уделено сравнению свойств покрытий, полученных с использованием различных методов активации прекурсоров. Ожидается, что активация ВЧ-плазмой позволит снизить температуру осаждения, улучшить однородность и плотность покрытия, а также более точно управлять фазовым составом покрытия. Результаты проекта могут внести значительный вклад в развитие технологий осаждения оксида алюминия, что особенно важно для таких областей, как машиностроение, приборостроение, нефте- и газодобывающая промышленность. Проект также может предложить решения для снижения термических напряжений в покрытиях, повышения их термостойкости и износостойкости, что обеспечит долговечность и эффективность работы оборудования в различных промышленных процессах. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 3000.0 |
| Дата начала | 2025-04-17 |
| Дата окончания | 2026-12-31 |
| Номер контракта | 25-22-20028 |
| Дата контракта | 2025-04-17 |
| Количество отчетов | 1 |
| УДК | 621.795.3; 667.6; 666.29; 678.026.3 |
| Количество просмотров | 184 |
| Руководитель работы | Митулинский Александр Сергеевич |
| Руководитель организации | Сухих Леонид Григорьевич |
| Исполнитель | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" |
| Заказчик | Российский научный фонд |
| Федеральная программа | — |
| Госпрограмма | — |
| Основание НИОКТР | Грант |
| Последний статус | 2025-06-17 08:14:58 UTC, 2025-08-14 09:52:09 UTC |
| ОКПД | Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области физики |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ; ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ; ОКСИД АЛЮМИНИЯ; ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПОКРЫТИЯ; ХИМИЧЕСКОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Фундаментальное исследование |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 55.22.23 - Неметаллические покрытия |
| OECD | — |
| OESR | Пленки и покрытия |
| Приоритеты научно-технического развития | а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта; |
| Регистрационные номера | — |