Синтез TiOxNy-покрытий реактивным анодным испарением титана в дуговом разряде с самонакаливаемым полым катодом
| Название НИОКТР | Синтез TiOxNy-покрытий реактивным анодным испарением титана в дуговом разряде с самонакаливаемым полым катодом |
|---|---|
| Аннотация | Оксинитрид титана (TiOxNy) - трехкомпонентное соединение, свойства и свойства которого могут меняться от проводника при полном отсутствии кислорода (TiN) до изолятора при отсутствии азота (TiO2) с промежуточными тройными соединениями, обладающими переменным удельным сопротивлением, оптической прозрачностью, смачиваемостью и запрещенной зоной. Это сочетание свойств делает его хорошим кандидатом для применений в таких областях, как микроэлектроника, износостойкие покрытия, биомедицинское применение и др. Современные способы синтеза покрытий должны удовлетворять высоким требованиям по безопасности, экологичности, эффективности, производительности, а также иметь возможность контролируемого изменения различных условий обработки и получения покрытий требуемого состава с заданными свойствами. Проект посвящен разработке и исследованию нового высокопроизводительного способа получения оксинитридных покрытий методом анодного испарения металла в азотно-кислородной среде. Новизна предлагаемой работы обусловлена применением для получения TiOxNy-покрытий нескольких подходов, обеспечивающих высокую скорость испарения металла, высокую интенсивность ионного ассистирования, высокую степень диссоциации реактивных газов, а также контролируемое изменение состава активной газовой среды. Это даст возможность управлять как зарядовым составом и степенью диссоциации компонентов газовой смеси, так и степенью ионного воздействия на поверхность обрабатываемых изделий, что, в конечном счете, позволит контролируемо изменять структуру, состав и свойства получаемых TiON покрытий. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 3000.0 |
| Дата начала | 2026-01-01 |
| Дата окончания | 2027-12-31 |
| Номер контракта | 25-29-01705 |
| Дата контракта | 2025-11-28 |
| Количество отчетов | 1 |
| УДК | 621.039.6 |
| Количество просмотров | 3 |
| Руководитель работы | Меньшаков Андрей Игоревич |
| Руководитель организации | Чайковский Станислав Анатольевич |
| Исполнитель | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОФИЗИКИ УРАЛЬСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК |
| Заказчик | Российский научный фонд |
| Федеральная программа | Отсутствует |
| Госпрограмма | — |
| Основание НИОКТР | Грант |
| Последний статус | 2026-01-27 08:20:06 UTC, 2026-01-27 08:20:06 UTC |
| ОКПД | Работы оригинальные научных исследований и экспериментальных разработок в области естественных и технических наук, кроме биотехнологии |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | дуговой разряд низкого давления; физическое осаждение из газовой фазы; анодное испарение; Наноструктурные покрытия |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Фундаментальное исследование |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 29.27.51 - Применение плазмы |
| OECD | — |
| OESR | Материаловедение; Нано-материалы [производство и свойства] |
| Приоритеты научно-технического развития | а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта; |
| Регистрационные номера | — |