Исследование процессов, влияющих на дефектность при лазерной резке полупроводниковых пластин
| Название НИОКТР | Исследование процессов, влияющих на дефектность при лазерной резке полупроводниковых пластин |
|---|---|
| Аннотация | Проведение исследований по влиянию параметров лазерной обработки широкого диапазона на лазерную обработку кремниевых пластин для разделения чипов. Определение ключевых особенностей и используемых источников лазерного излучения в задачах разделения полупроводниковых пластин. Проведение анализа использования метода конечных элементов в решении задач расчете тепловых полей,кратеров и канавок при лазерной обработке кремния. Выяснение особенностей поглощения лазерного излучения кремнием. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 9000.0 |
| Дата начала | 2025-03-18 |
| Дата окончания | 2027-08-31 |
| Номер контракта | 4-2025/К |
| Дата контракта | 2025-03-18 |
| Количество отчетов | 3 |
| УДК | 006.91 |
| Количество просмотров | 10 |
| Руководитель работы | Петровский Виктор Николаевич |
| Руководитель организации | Каргин Николай Иванович |
| Исполнитель | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ" |
| Заказчик | АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ "ПРОГРЕСС" |
| Федеральная программа | Отсутствует |
| Госпрограмма | — |
| Основание НИОКТР | Договор со сторонней организацией |
| Последний статус | 2025-09-24 13:14:18 UTC, 2025-09-24 13:14:18 UTC |
| ОКПД | Услуги, связанные с производством электронных интегральных схем |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | кремниевые пластины; наносекундный лезер; лазерная абляция; лазерная резка |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Выбор технологической концепции |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 90.01.05 - Материалы общего характера |
| OECD | — |
| OESR | Керамические материалы |
| Приоритеты научно-технического развития | а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта; |
| Регистрационные номера | — |