Разработка ручной установки бондинга пластин для процесса гетероинтеграции СВЧ МИС с многофункциональными кремниевыми микросхемами
| Название НИОКТР | Разработка ручной установки бондинга пластин для процесса гетероинтеграции СВЧ МИС с многофункциональными кремниевыми микросхемами |
|---|---|
| Аннотация | Для России создание глобальной телекоммуникационной системы (аналог Starlink, Project Kuiper и GuoWang) за счет масштабного развертывания спутниковых группировок представляет собой стратегическую задачу, направленную на обеспечение цифрового суверенитета, устойчивой связи в удаленных регионах и независимости от зарубежных инфраструктур. Уменьшение себестоимости антенных модулей и значительное улучшение их тактико-технических характеристик возможно с применением передовых технологий сборки, в частности передовых технологий гетероинтеграции СВЧ-микросхем (МИС) и перехода от традиционной проволочной разварки к передовым методам 2.5D и 3D-сборки. На текущий момент таких технологий в России нет. Для постановки технологии гетероинтеграции на уровне пластин используется специализированное оборудование для бондинга, которое в связи с санкциями со стороны недружественных стран не поставляется в Россию, отечественной альтернативы нет. Поэтому главной задачей данного проекта является разработка и изготовление сложных узлов установки для бондинга (гидравлический пресс, нагревательные элементы, регулировки плоскостности) на примере прототипа ручной установки, необходимой для отработки технологий гетероинтеграции на уровне пластин и создания задела в рамках программы развития ТУСУР. Главный результат – конструкторская документация и изготовленный прототип ручной установки бондинга. На основе полученных результатов будет продолжена работа над созданием основ для технологий гетероинтеграции, методики регулировки и калибровки узлов установки для обеспечения равномерности нагрева и распределения усилия, технологий и режимов соединения чипов и пластин. Актуальность проекта определяется критической зависимостью от иностранных технологий, в связи с чем разработка отечественного оборудования является неотложной задачей для повышения суверенитета в сфере микроэлектроники. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 2000.0 |
| Дата начала | 2025-05-20 |
| Дата окончания | 2025-10-31 |
| Номер контракта | 1-КК |
| Дата контракта | 2025-01-19 |
| Количество отчетов | 1 |
| УДК | 621.38:658.274-022.532 |
| Количество просмотров | 6 |
| Руководитель работы | Барбин Евгений Сергеевич |
| Руководитель организации | Рулевский Виктор Михайлович |
| Исполнитель | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ" |
| Заказчик | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ" |
| Федеральная программа | Отсутствует |
| Госпрограмма | — |
| Основание НИОКТР | Инициативная |
| Последний статус | 2025-10-09 09:18:48 UTC, 2025-10-09 09:18:48 UTC |
| ОКПД | Части оборудования и аппаратуры, исключительно или в основном используемой для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | КОНСТРУКТОРСКАЯ ДОКУМЕНТАЦИЯ; АФАР; ПРОТОТИП; ГЕТЕРОИНТЕГРАЦИЯ ИС; СОЕДИНЕНИЕ ПЛАСТИН; БОНДИНГ; ИЗГОТОВЛЕНИЕ |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Проектные работы |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 47.13.07 - Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники |
| OECD | — |
| OESR | Механическая инженерия |
| Приоритеты научно-технического развития | а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;; е) повышение уровня связанности территории Российской Федерации путем создания интеллектуальных транспортных, энергетических и телекоммуникационных систем, а также занятия и удержания лидерских позиций в создании международных транспортно-логистических систем, освоении и использовании космического и воздушного пространства, Мирового океана, Арктики и Антарктики; |
| Регистрационные номера | ikrbs: {'card_list': [{'id': 'ENFWWCCC5XY9PHQO2PEBLIPY'}]} |