| Название НИОКТР |
Разработка технологии электрохимического осаждения мелкокристаллического золота с вертикальными стенками для производства микроэлектроники
|
| Аннотация |
Разрабатывается отечественная технология электрохимического осаждения золота из бесцианидного сульфит-тиосульфатного электролита для микроэлектроники. Цель — замена импортных и токсичных цианидных растворов. Ожидаемые результаты: создание мелкозернистых покрытий с вертикальными стенками (уклон до 10° при толщине 2 мкм) и шероховатостью менее 0,1 мкм. Это позволит формировать высокоточные элементы (столбиковые выводы, «воздушные мосты») и улучшит характеристики СВЧ-приборов за счет снижения токовых потерь.
|
| Доступ к ОКОГУ исполнителя |
False
|
| Количество связанных РИД |
0
|
| Количество завершенных ИКРБС |
0
|
| Сумма бюджета |
900.0
|
| Дата начала |
2025-05-20
|
| Дата окончания |
2025-10-31
|
| Номер контракта |
1-КК
|
| Дата контракта |
2025-05-19
|
| Количество отчетов |
1
|
| УДК |
621.38.049.77
|
| Количество просмотров |
5
|
| Руководитель работы |
Вайсбеккер Мария Сергеевна
|
| Руководитель организации |
Рулевский Виктор Михайлович
|
| Исполнитель |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
|
| Заказчик |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
|
| Федеральная программа |
Отсутствует
|
| Госпрограмма |
—
|
| Основание НИОКТР |
Инициативная
|
| Последний статус |
2025-10-24 06:48:52 UTC, 2025-10-24 06:48:52 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области математики
|
| Отраслевой сегмент |
—
|
| Минздрав |
—
|
| Межгосударственная целевая программа |
—
|
| Ключевые слова |
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ; ШЕРОХОВАТОСТЬ; КОНТАКТНЫЕ ПЛОЩАДКИ; СУЛЬФИТ-ТИОСУЛЬФАТНЫЙ ЭЛЕКТРОЛИТ ЗОЛОЧЕНИЯ; ЗОЛОТО
|
| Соисполнители |
—
|
| Типы НИОКТР |
Разработка новых материалов, научно-методических материалов, продуктов, процессов, программ, устройств, типов, элементов, услуг, систем, методов, методик, рекомендаций, предложений, прогнозов
|
| Приоритетные направления |
—
|
| Критические технологии |
—
|
| Рубрикатор |
47.09.37 - Металлы, металлические сплавы и керметы для радиоэлектроники; 47.33.31 - Интегральные микросхемы
|
| OECD |
—
|
| OESR |
Материаловедение; Физическая химия
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
| Регистрационные номера |
ikrbs: {'card_list': [{'id': 'T33I3WZCTTF4GW3AIQRCYT86'}]}
|