| Название НИОКТР |
Технологии и микротоннажное производство сложных эфиров метакриловой кислоты и циклических спиртов - мономеров для полимерной основы фоторезистов с химическим усилением, использующихся в фотолитографии с актиничным излучением 193 нм
|
| Аннотация |
Одной из стратегических задач Правительства РФ, сформулированных перед научными центрами и производственным сектором страны, является обеспечение активного функционирования и развития электронной промышленности. Комплексные мероприятия направлены на замещение 70% оборудования и материалов к 2030 году, используемых в базовых технологических процессах. Ключевой технологией, обеспечивающей возможность изготовления микроэлектроники, является фотолитография. В современных установках протекают процессы с применением глубокого ультрафиолета (DUV), источником которого служит эксимерный лазер с длиной волны 193 нм. Данный лазер может применяться в технологиях фотолитографии, позволяющих получать топологические размеры элементов до 28 нм. Одним из ключевых материалов в фотолитографии является фоторезист, состоящий из полимерной основы, фотогенератора кислоты и других компонентов. Полимерная основа представляет собой статистический сополимер на основе сомономеров (до 5ти), каждый из которых несет на себе целый набор функций. В частности, полимер в фоторезистах 193 нм может состоять из адамантансодержащих и/или циклопентановых и/или оксолановых мономеров или некоторых других.
С 2019 года ФИЦ ПХФ и МХ РАН совместно с АО «НИИМЭ» ведет инициативные работы по расшифровке состава зарубежных материалов для литографии, структуры полимеров в зарубежных фоторезистах, доступ к которым в настоящее время отсутствует. Был проведен ряд НИОКТР по импортозамещению материалов для ArF-фотолитографии, производство которых освоено в ООО «Поликетон». Следующим этапом на пути к созданию и устойчивому производству линейки российских фоторезистов должна стать разработка технологий синтеза метакрилатных мономеров. Задача реверсивного инжиниринга таких материалов принимает особое значение в разрезе растущего рынка российской электроники и увеличивающегося спроса на электронику специального назначения.
Данный проект направлен на разработку технологий производства сложных эфиров метакриловой кислоты на основе циклических углеводородов в соответствии с запросом организации реального сектора экономики – ООО «Поликетон». В качестве решения поставленных Заказчиком задач предлагается проведение комплекса работ, включающих следующие модули:
1) Выработку химических цепочек синтеза и их оптимизацию на стадии разработки экспериментальных образцов мономеров. Большое внимание будет уделено поиску атом-экономичных синтетических подходов и рециклингу реагентов. Должна быть проведена детальная характеризация образцов для установления химического состава, высокой степени чистоты и подтверждения способности вступать в реакции радикальной полимеризации.
2) Разработку опытной установки – реакторной линии опытных установок синтеза мономеров для производства опытных образцов и партий продукции.
3) Переход от лабораторных масштабов получения соединений к синтезу опытных образцов и опытных партий продукции с контролем состава, чистоты и сохранения основного назначения – реакционной способности в реакциях радикальной сополимеризации с получением полифункционального материала, который в составе фоторезиста будет изменять свои свойства после облучения пленки ультрафиолетовым светом с длиной волны 193 нм. Успешное выполнение этого модуля является предэтапом к серийному производству материалов.
4) Разработку рабочей конструкторской документации на установки и материалы (ТУ) и технологической документации на производство метакрилатных мономеров для получения полимерной основы химически усиленных фоторезистов 193 нм.
Решение комплекса перечисленных задач напрямую связано с ожидаемыми технологическими результатами Проекта. Новизна обозначенных задач и решений заключается в выработке оптимизированного пути получения мономеров, которые позволят наладить массовый выпуск высококачественной продукции с использованием недорогого и доступного сырья. Также стоит отметить, что подобные работы по разработке технологий получения прекурсоров для синтеза компонентов литографических материалов для микроэлектронной промышленности проводятся впервые.
Коллектив исполнителей Проекта активно ведет работы по выявлению и реинжинирингу наиболее перспективных литографических материалов, входящих в состав продукции зарубежных поставщиков – всемирно признанных лидеров в этой области. Большое внимание уделяется разработке передовых фоточувствительных и электроактивных соединений, которые используются в производстве микроэлектроники, включая органическую и гибридную электронику. Компетенции коллектива обхватывают области органического синтеза, химической технологи и прецизионного анализа физико-химических, литографических, оптоэлектронных свойств функциональных материалов. Имеющаяся в распоряжении коллектива исполнителей Проекта современная инфраструктурная и приборная база позволяет проводить научно-исследовательские и научно-технологические работы на самом высоком уровне. Таким образом, решение задач данного Проекта приведет к разработке критически важных для электронной промышленности технологий, и укрепит независимость российских компаний-производителей от импорта.
|
| Доступ к ОКОГУ исполнителя |
False
|
| Количество связанных РИД |
0
|
| Количество завершенных ИКРБС |
0
|
| Сумма бюджета |
90000.0
|
| Дата начала |
2025-10-13
|
| Дата окончания |
2028-09-30
|
| Номер контракта |
25-93-28005
|
| Дата контракта |
2025-10-13
|
| Количество отчетов |
3
|
| УДК |
547.057
|
| Количество просмотров |
4
|
| Руководитель работы |
Малков Георгий Васильевич
|
| Руководитель организации |
Золотухина Екатерина Викторовна
|
| Исполнитель |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ПРОБЛЕМ ХИМИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ И МЕДИЦИНСКОЙ ХИМИИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
|
| Заказчик |
Российский научный фонд
|
| Федеральная программа |
Отсутствует
|
| Госпрограмма |
—
|
| Основание НИОКТР |
Грант
|
| Последний статус |
2025-10-29 12:40:09 UTC, 2025-10-29 12:40:09 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области химических наук
|
| Отраслевой сегмент |
—
|
| Минздрав |
—
|
| Межгосударственная целевая программа |
—
|
| Ключевые слова |
синтез; технология; мономеры; масштабирование; полимерная основа фоторезистов для литографии с актиничным излучением 193 нм; опытная партия; норборнан; адамантан; метакрилаты; микротоннажное производство
|
| Соисполнители |
—
|
| Типы НИОКТР |
Поисковое (ориентированные фундаментальные) исследование
|
| Приоритетные направления |
—
|
| Критические технологии |
—
|
| Рубрикатор |
31.21.27 - Гетероциклические соединения; 31.21.19 - Общие синтетические методы; 61.69.31 - Органические реактивы; 31.21.23 - Алициклические соединения
|
| OECD |
—
|
| OESR |
Химические технологии; Органическая химия
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
| Регистрационные номера |
—
|
