| Название НИОКТР |
Разработка совокупности технологических методов формирования 2D функциональных наноматериалов и МЕМС-микронагревателей для микроэлектроники нового поколения
|
| Аннотация |
Технология создания новых материалов для элементов микроэлектронных устройств нового поколения является одной из основных задач современной микроэлектроники. Особое значение для микроэлектроники нового поколения приобретают 2D материалы на основе аллотропных форм углерода (графен) и такие материалы как MoS2, WS2, (Transition Metal DiChalcogenides (TMDC), которые уже в нынешнем качестве материала более чем на порядок величины выигрывают по подвижности у классических полупроводников сопоставимой толщины. Комбинация атомарной толщины и полупроводниковых свойств является тем уникальным ключом, которого не было ни у одного материала ранее. Она позволяет обойти фундаментальные физические ограничения кремниевой эры и открывает дорогу к созданию микроэлектроники сверхмасштаба, сверхнизкого энергопотребления и принципиально новых архитектур. Именно технология формирования этих функциональных материалов с заданными физико-химическими характеристиками, а также разработки по формированию данных материалов на подложка коммерчески значимых площадей (100 мм) и совместимость технологических процессов для создания готового устройства являются важнейшими тематиками в научно-технологическом сообществе и будет определять степень функциональности конечного устройства на основе этих функциональных материалов.
Также одним из важных направлений в рамках реализации программы центра перспективной микроэлектроники является реализация нагревательных элементов для газовых сенсоров и их планарное исполнение с последующим переходом в 3D архитектуру для улучшения базовых характеристик детекторов.
|
| Доступ к ОКОГУ исполнителя |
False
|
| Количество связанных РИД |
0
|
| Количество завершенных ИКРБС |
0
|
| Сумма бюджета |
195000.0
|
| Дата начала |
2025-06-26
|
| Дата окончания |
2030-12-31
|
| Номер контракта |
075-15-2025-587
|
| Дата контракта |
2025-06-26
|
| Количество отчетов |
6
|
| УДК |
|
| Количество просмотров |
12
|
| Руководитель работы |
Тархов Михаил Александрович
|
| Руководитель организации |
Сауров Александр Николаевич
|
| Исполнитель |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ НАНОТЕХНОЛОГИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
|
| Заказчик |
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
|
| Федеральная программа |
Отсутствует
|
| Госпрограмма |
Научно-технологическое развитие Российской Федерации
|
| Основание НИОКТР |
Грант
|
| Последний статус |
2025-10-29 13:32:23 UTC, 2025-10-29 13:32:23 UTC
|
| ОКПД |
Нет
|
| Отраслевой сегмент |
—
|
| Минздрав |
—
|
| Межгосударственная целевая программа |
—
|
| Ключевые слова |
атомно-слоевое осаждение; Дихалькогениды переходных металлов; 2D материалы; дисульфид молибдена; дисульфид вольфрама; технология вывешивания нагревателей; BOSCH-процесс; планарные газовые сенсоры; нитрид ниобия; аллторопные формы углерода
|
| Соисполнители |
—
|
| Типы НИОКТР |
Разработка новых материалов, научно-методических материалов, продуктов, процессов, программ, устройств, типов, элементов, услуг, систем, методов, методик, рекомендаций, предложений, прогнозов
|
| Приоритетные направления |
—
|
| Критические технологии |
—
|
| Рубрикатор |
81.13.30 - Нанотехнологии
|
| OECD |
—
|
| OESR |
Электротехника и электроника; Нано-материалы [производство и свойства]
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
| Регистрационные номера |
ikrbs: {'card_list': [{'id': '0RFGCJ0Z7PNRGFBKJ0SBUQ99'}]}
|
