Создание фотошаблонов для проекционной и контактной литографии
| Название НИОКТР | Создание фотошаблонов для проекционной и контактной литографии |
|---|---|
| Аннотация | Разработка технологии изготовления фотошаблонов для проекционной литографии масштабов 5:1 и 4:1 размером 152 х 152 мм и фотошаблонов для контактной литографии масштабом 1:1 размером 127 х 127 мм, изготовление и испытание опытных образцов фотошаблонов |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 678431.813 |
| Дата начала | 2022-12-27 |
| Дата окончания | 2026-12-31 |
| Номер контракта | 020-11-2022-1784 |
| Дата контракта | 2022-12-27 |
| Количество отчетов | 9 |
| УДК | 621.38.049.77 |
| Количество просмотров | 6 |
| Руководитель работы | Смирнов Сергей Викторович |
| Руководитель организации | Макеев Сергей Сергеевич |
| Исполнитель | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "РОССИЙСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ЯДЕРНЫЙ ЦЕНТР - ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ФИЗИКИ" |
| Заказчик | МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ |
| Федеральная программа | Отсутствует |
| Госпрограмма | Научно-технологическое развитие Российской Федерации |
| Основание НИОКТР | Соглашение (государственный/муниципальный контракт) |
| Последний статус | 2025-11-17 13:53:20 UTC, 2025-11-17 13:53:20 UTC |
| ОКПД | Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области физики |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | технология; фотошаблон; Проекционная литография; Контактная литографии |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Опытно-конструкторские работы |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 47.33.31 - Интегральные микросхемы |
| OECD | — |
| OESR | Другая техника и технологии |
| Приоритеты научно-технического развития | Отсутствует |
| Регистрационные номера | — |