Создание установки жидкостной химической обработки
| Название НИОКТР | Создание установки жидкостной химической обработки |
|---|---|
| Аннотация | Разработка установки жидкостной химической обработки для проведения процесса групповой обработки (химическое травление пленок нитрида и оксида кремния, химическая очистка кремниевых пластин, как базовых, так и на этапе формирования топологии) кремниевых пластин, организация долговременного технологического тестирования опытного образца, организация выпуска установок, в том числе создание производственной инфраструктуры, последующий вывод установок на рынок |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 1443882.8 |
| Дата начала | 2023-06-30 |
| Дата окончания | 2026-12-31 |
| Номер контракта | 020-11-2023-684 |
| Дата контракта | 2023-06-30 |
| Количество отчетов | 7 |
| УДК | 66:621.6; 662.6:621.6 |
| Количество просмотров | 4 |
| Руководитель работы | Денисов Андрей Владимирович |
| Руководитель организации | Макеев Сергей Сергеевич |
| Исполнитель | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "РОССИЙСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ЯДЕРНЫЙ ЦЕНТР - ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ФИЗИКИ" |
| Заказчик | МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ |
| Федеральная программа | Отсутствует |
| Госпрограмма | Развитие электронной и радиоэлектронной промышленности |
| Основание НИОКТР | Соглашение (государственный/муниципальный контракт) |
| Последний статус | 2025-11-24 11:34:55 UTC, 2025-11-24 11:34:55 UTC |
| ОКПД | Оборудование, исключительно или в основном используемое для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов прочее, не включенное в другие группировки |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | производство; интегральные микросхемы; оборудование; химическая обработка; полупроводниковые пластины |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Опытно-конструкторские работы |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 55.39.31 - Химическое, нефтехимическое и нефтеперерабатывающее машиностроение |
| OECD | — |
| OESR | Химическое машиностроение (заводы, продукция) |
| Приоритеты научно-технического развития | Отсутствует |
| Регистрационные номера | — |