| Название НИОКТР |
Разработка и исследование новых оптических элементов для мягкой рентгеновской области спектра (5 – 25 нм)
|
| Аннотация |
Проект нацелен на развитие отечественной оптико-элементной базы мягкого рентгеновского диапазона (5 – 25 нм) в интересах проекционной рентгеновской литографии, рентгеновской оптики и спектроскопии. Проект предполагает разработку, изготовление, исследование и характеризацию многослойных зеркал, VLS-решеток, делителей пучка, внеосевых отражательных зонных пластин, а также VLS-решеток для специализированного инновационного монохроматора. Для получения рентгеновских зеркал на основе многослойных периодических и апериодических структур металл-спейсер, будет задействована технология RF-распыления, особенностью которой является малые скорости осаждения материала (от 1 - 4 нм/мин.). Будут использоваться технологии электронно-лучевой и интерференционной литографии. Испытания элементов рентгеновской оптики пройдут в вакуумной камере длиной 3,8 м, оснащенной лазерно-плазменным источником излучения. Разработка элементной базы позволит в будущем создать прецизионный рефлектометр на диапазон 5–25 нм, включающий все три литографические длины волны (13,5, 11,2 и 6,7 нм), измерять спектральную яркость и пространственный размер источников, а также спектральную чувствительность детекторов излучения.
|
| Доступ к ОКОГУ исполнителя |
False
|
| Количество связанных РИД |
0
|
| Количество завершенных ИКРБС |
0
|
| Сумма бюджета |
21000.0
|
| Дата начала |
2025-05-30
|
| Дата окончания |
2027-12-31
|
| Номер контракта |
25-12-00314
|
| Дата контракта |
2025-05-30
|
| Количество отчетов |
3
|
| УДК |
535.33/.34
|
| Количество просмотров |
3
|
| Руководитель работы |
Рагозин Евгений Николаевич
|
| Руководитель организации |
Конькова Анастасия Олеговна
|
| Исполнитель |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. П.Н. ЛЕБЕДЕВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
|
| Заказчик |
Российский научный фонд
|
| Федеральная программа |
Отсутствует
|
| Госпрограмма |
—
|
| Основание НИОКТР |
Грант
|
| Последний статус |
2025-12-05 07:07:53 UTC, 2025-12-05 07:07:53 UTC
|
| ОКПД |
Услуги (работы), связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области технических наук и в области технологий, прочие, не включенные в другие группировки, кроме биотехнологии
|
| Отраслевой сегмент |
—
|
| Минздрав |
—
|
| Межгосударственная целевая программа |
—
|
| Ключевые слова |
лазерная плазма; пикосекундная акустика; рефлектометрия; абсорбционный фильтр; VLS-решетка; отражательная зонная пластина; делитель пучка; многослойная оптика; проекционная рентгенолитография
|
| Соисполнители |
—
|
| Типы НИОКТР |
Фундаментальное исследование
|
| Приоритетные направления |
—
|
| Критические технологии |
—
|
| Рубрикатор |
29.31.26 - Спектроскопические методы и методики
|
| OECD |
—
|
| OESR |
Оптика (включая лазерную оптику и квантовую оптику)
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
| Регистрационные номера |
—
|
