| Название НИОКТР |
Наноимпринт литография для массового создания 2.5D элементов микрооптики и оптоэлектроники
|
| Аннотация |
Создание микрооптических и оптоэлектронных структур, таких как массивы микролинз, оптические коннекторы, дифракционные фотонные элементы и волноводы, является важной задачей для производства различных фотонных устройств. Одним из способов создания микрооптических элементов (2.5D-микроструктур) с субмикронным разрешением, не требующих вакуумного оборудования, является технология прямой лазерной печати (англ. Direct Laser Writing - DLW). Однако данная технология обладает низкой производительностью и масштабируемостью. В то же время, наноимпринт литография (НИЛ, от англ. Nanoimprint lithography - NIL) является перспективным методом создания прецизионных микро- и наноструктур, который в последнее время находит применение в микроэлектронике, оптоэлектронике и биомедицине. Главные преимущества НИЛ — низкая стоимость, простота и потенциальная возможность достижения разрешения вплоть до десятков нанометров. Но несмотря на все преимущества, для реализации данной литографии требуется наличие стойких к механическому воздействию штампов и высокая степень контроля расстояния между штампом и подложкой, на которой производится литография. В рамках данного Проекта предлагается решение проблемы создания объемных мастер-штампов для наноимпринт литографии с помощью использования технологии прямой лазерной печати. Такой подход позволяет создавать не только элементы сложной планарной топологии с размерами элементов до 150 нм, но и задавать объемный рельеф на поверхности подложек и чипов. Такое преимущество может позволить массово создавать пассивные фотонные и дифракционные элементы, массивы микролинз, элементы совмещения многослойных литографических процессов для микроэлектромеханических систем (МЭМС). В ходе Проекта предполагается реализация и исследование технологии НИЛ с DLW мастер-штампами, созданными на основе оригинальных фотокомпозиций, включающих акриловые мономеры с отечественными фотоинициаторами.
|
| Доступ к ОКОГУ исполнителя |
False
|
| Количество связанных РИД |
0
|
| Количество завершенных ИКРБС |
0
|
| Сумма бюджета |
28000.0
|
| Дата начала |
2025-05-27
|
| Дата окончания |
2028-12-31
|
| Номер контракта |
25-79-20031
|
| Дата контракта |
2025-05-27
|
| Количество отчетов |
4
|
| УДК |
539.23 539.216.1
|
| Количество просмотров |
16
|
| Руководитель работы |
ВИТУХНОВСКИЙ АЛЕКСЕЙ ГРИГОРЬЕВИЧ
|
| Руководитель организации |
Баган Виталий Анатольевич
|
| Исполнитель |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
|
| Заказчик |
Российский научный фонд
|
| Федеральная программа |
Отсутствует
|
| Госпрограмма |
—
|
| Основание НИОКТР |
Грант
|
| Последний статус |
2025-12-15 08:38:01 UTC, 2025-12-15 08:38:01 UTC
|
| ОКПД |
Работы оригинальные научных исследований и экспериментальных разработок в области естественных и технических наук, кроме биотехнологии
|
| Отраслевой сегмент |
—
|
| Минздрав |
—
|
| Межгосударственная целевая программа |
—
|
| Ключевые слова |
фотолитография; атомно-силовая микроскопия; наноимпринт; мастер-штамп; прямая лазерная печать; двухфотонная полимеризация; электронная; лазерная конфокальная
|
| Соисполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. П.Н. ЛЕБЕДЕВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
|
| Типы НИОКТР |
Поисковое (ориентированные фундаментальные) исследование
|
| Приоритетные направления |
—
|
| Критические технологии |
—
|
| Рубрикатор |
29.19.22 - Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
|
| OECD |
—
|
| OESR |
Оптика (включая лазерную оптику и квантовую оптику)
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
| Регистрационные номера |
ikrbs: {'card_list': [{'id': 'HQ35RRPY30ZLQ2LACHS6XMM2'}]}
|
