| Название НИОКТР |
Анализ и постановка технологии БиКДМОП с топологическими нормами 0.5-0.8 мкм с тремя и более слоями металлизации, шифр: «Технология-А»
|
| Аннотация |
Цель
Анализ и постановка технологии БиКДМОП с проектными (топологическими) нормами 0.5-0.8 мкм с тремя и более слоями металлизации.
Объекты исследования: полупроводниковые пластины; кристаллы с различными тестовыми и рабочими структурами, изготовленными на установках, применяющихся в БиКДМОП процессах, а также иные материалы, применяемые в производстве кристаллов. Образцы разрабатываются в рамках выполнения комплексного проекта «Разработка и организация серийного производства серий ЭКБ, включая развитие тренч-технологий, с целью обеспечения технологического суверенитета»
Задачи
Проведение анализа образцов:
Исследование состава защитных покрытий, межуровневых диэлектриков и других слоев;
Исследование состава загрязнений, полимерных образований после различных технологических операций
Исследование профилей травления контактных окон, межуровневых контактов, шин затворов, металлизации и др;
Определение критических линейных размеров, уходов размера относительно исходной маски после операций фотолитографии;
Исследование рельефа и профиля слоев на ступеньках в кристаллах после операций осаждения, травления, ХМП и пр.
Проведение реверс-инжиниринга технологических решений в аналогах ИС, разработанных по технологиям БиКМОП и БиКДМОП.
Сбор и обработка статистических данных;
Выработка рекомендаций по постановке технологии.
Результаты
Результаты анализа полупроводниковых пластин, кристаллов с различными тестовыми и рабочими структурами, изготовленных на различных установках (данные осоставе материалов, их профилей, толщин и свойств и т.д.);
Результаты анализа обработки статистических данных, включающие выводы о рекомендациях по постановке и корректировке технологии БиКДМОП с топонормами 0.5-0.8 мкм с тремя и более слоями металлизации.
|
| Доступ к ОКОГУ исполнителя |
False
|
| Количество связанных РИД |
0
|
| Количество завершенных ИКРБС |
0
|
| Сумма бюджета |
51000.0
|
| Дата начала |
2024-12-23
|
| Дата окончания |
2028-12-25
|
| Номер контракта |
32-3
|
| Дата контракта |
2024-12-23
|
| Количество отчетов |
5
|
| УДК |
531.7
|
| Количество просмотров |
3
|
| Руководитель работы |
Малаханов Алексей Алексеевич
|
| Руководитель организации |
Федонин Олег Николаевич
|
| Исполнитель |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "БРЯНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
|
| Заказчик |
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
|
| Федеральная программа |
Отсутствует
|
| Госпрограмма |
—
|
| Основание НИОКТР |
Договор со сторонней организацией
|
| Последний статус |
2025-12-16 13:37:35 UTC, 2025-12-16 13:37:35 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с производством электронных интегральных схем
|
| Отраслевой сегмент |
—
|
| Минздрав |
—
|
| Межгосударственная целевая программа |
—
|
| Ключевые слова |
технология; образец; энергодисперсионный анализ; оптическая микроскопия; сканирующая микроскопия
|
| Соисполнители |
—
|
| Типы НИОКТР |
Разработка и лабораторная проверка ключевых элементов технологии
|
| Приоритетные направления |
—
|
| Критические технологии |
—
|
| Рубрикатор |
90.27.37 - Оптические и оптико-физические измерения; 90.27.27 - Измерения геометрических величин; 90.27.31 - Измерения состава и физико-химических свойств веществ
|
| OECD |
—
|
| OESR |
Другая техника и технологии; Электротехника и электроника
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
| Регистрационные номера |
—
|
