Исследование возможности интеграции кристаллов методом перевернутого монтажа на пассивные монолитные интегральные схемы СВЧ
| Название НИОКТР | Исследование возможности интеграции кристаллов методом перевернутого монтажа на пассивные монолитные интегральные схемы СВЧ |
|---|---|
| Аннотация | Объект исследования: технологические способы интеграции кристаллов на пассивные МИС СВЧ. Цель исследования: исследование возможности интеграции кристаллов на пассивные монолитные интегральные схемы (МИС) СВЧ методом перевернутого монтажа на основе тонкоплёночной системы металлов Au-Sn для создания гибридно-монолитных интегральных схем СВЧ на основе 2,5D и 3D интеграции для СВЧ аппаратуры перспективных систем радиолокации, радиоэлектронного противодействия, идентификации, связи и управления. Ожидаемые результаты: - будут исследованы технологические способы интеграции кристаллов на пассивные МИС СВЧ; - разработана эскизная ТД на процесс интеграции кристаллов на пассивные монолитные интегральные схемы (МИС) СВЧ методом перевернутого монтажа; - будут проведена отработка процессов интеграции для ряда типоразмеров кристаллов и пассивных МИС СВЧ; - будут проведены работы по утонению кремниевых подложек со сформированной топологией МИС, формирование в утоненной подложке сквозных отверстий до контактных площадок МИС. - будут проведены патентные исследования. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 20000.0 |
| Дата начала | 2025-11-11 |
| Дата окончания | 2026-12-30 |
| Номер контракта | Договор № 250002181200270/223/25/СП |
| Дата контракта | 2025-11-11 |
| Количество отчетов | 2 |
| УДК | 621.382:658.274; 621.382.049.77:658.274 |
| Количество просмотров | 3 |
| Руководитель работы | Зайцев Алексей Александрович |
| Руководитель организации | Дронов Алексей Алексеевич |
| Исполнитель | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ" |
| Заказчик | АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ИСТОК" ИМЕНИ А. И. ШОКИНА" |
| Федеральная программа | Отсутствует |
| Госпрограмма | — |
| Основание НИОКТР | Договор со сторонней организацией |
| Последний статус | 2025-12-19 14:07:49 UTC, 2025-12-19 14:07:49 UTC |
| ОКПД | Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | flip chip; утонение подложки; переходные отверстия; Гибридные монолитные интегральные схемы |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Разработка и лабораторная проверка ключевых элементов технологии; Технологические работы |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 47.13.10 - Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона; 47.13.11 - Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники |
| OECD | — |
| OESR | Электротехника и электроника |
| Приоритеты научно-технического развития | а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта; |
| Регистрационные номера | — |